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ジャパンクリエイトのアッシング装置

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ジャパンクリエイト株式会社

2周波独立印加方式 アッシング装置

電子・電気機器業界用 化学業界用

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100.0% 返答率

366.4時間 平均返答時間

■概要 最大8インチ基板を全自動で連続処理することが可能な量産装置です。 ガス種およびプラズマモードの切り替えによりエッチング、アッシング及びイオンク...


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