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ジャパンクリエイト株式会社
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■概要 最大8インチ基板を全自動で連続処理することが可能な量産装置です。 ガス種およびプラズマモードの切り替えによりエッチング、アッシング及びイオンク...
ジャパンクリエイト株式会社
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最新の閲覧: 8時間前
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■概要 最大φ12インチ基板を全自動で連続処理することが可能な量産装置です。 ガス種およびプラズマモードの切り替えによりエッチング、アッシング及びイオン...
