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神港精機のアッシング装置

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神港精機株式会社

高密度 プラズマ装置 SWP

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最新の閲覧: 1日前

大面積に均一な高密度プラズマが生成可能な表面波プラズマ (SWP) を採用し、アッシング・表面処理等多くの用途で活躍中です。 H2ラジカルによるダメージレス...


神港精機株式会社

プラズマ エッチング装置 EXAM

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最新の閲覧: 1時間前

EXAMは半導体量産用装置のノウハウを生かした複数の目的にも対応可能な多目的プラズマエッチング装置です。 ガス系やプラズマモードの切り替えによりエッチン...


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