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神港精機株式会社
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神港精機株式会社
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エッチング室を複数装備できる新型マルチチャンバタイプエッチング装置です。 新開発ICPエッチングチャンバを2室装備可能 ・同装置は従来のMEMSプロセスSi深...
神港精機株式会社
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大面積に均一な高密度プラズマが生成可能な表面波プラズマ (SWP) を採用し、アッシング・表面処理等多くの用途で活躍中です。 H2ラジカルによるダメージレス...
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