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テルモセラ・ジャパンのアニール炉

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テルモセラ・ジャパン株式会社

ANNEAL 卓上型ウエハーアニール装置

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■概要 3台までのMFCによる高精度プロセス雰囲気制御、操作性に優れたタッチパネル、安定した温度制御・優れた面内均一性。プロセス条件に合わせて3種類のヒー...


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