日本ドナルドソンのケミカルフィルタ
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日本ドナルドソン株式会社
LITHOGUARD® POINT OF USE FILTERS インラインケミカルフィルタ リソガードPOUフィルタ
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ドナルドソンのリソガードPOU (Point-Of-Use/局所) フィルタは、塩基性・酸性および有機ガスといった汚染物質除去用の配管接続タイプのケミカルフィルタです...
日本ドナルドソン株式会社
ケミカルフィルタ リソガード BSMmax
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リソガードBSMmaxフィルタは、空気中の塩基性・酸性および有機ガスといった汚染物質 (AirborneMolecular Contamination/AMC) に対して高い除去性能を発揮する...
日本ドナルドソン株式会社
酸性・塩基性・凝縮性有機ガス除去用 HEPA フィルタ付高効率ケミカルフィルタシステムリソガード -12
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LITHOGUARD®-12は、ArF液浸露光を始めとするハイエンド半導体露光装置向けに開発された、酸性・塩基性・凝縮性有機ガス除去用HEPAフィルタ付高効 率ケミカル...
日本ドナルドソン株式会社
ケミカルフィルタ リソガード LPS
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リソガードLPSフィルタは、現在もクラス最高レベルにあるリソガードBSMmaxフィルタの除去性能を強化し、更なる長寿命化を実現したキャビネット収納タイプのケ...
