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LITHOGUARD®-12は、ArF液浸露光を始めとするハイエンド半導体露光装置向けに開発された、酸性・塩基性・凝縮性有機ガス除去用HEPAフィルタ付高効 率ケミカル...
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ドナルドソンのリソガードPOU (Point-Of-Use/局所) フィルタは、塩基性・酸性および有機ガスといった汚染物質除去用の配管接続タイプのケミカルフィルタです...
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リソガードBSMmaxフィルタは、空気中の塩基性・酸性および有機ガスといった汚染物質 (AirborneMolecular Contamination/AMC) に対して高い除去性能を発揮する...
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リソガードLPSフィルタは、現在もクラス最高レベルにあるリソガードBSMmaxフィルタの除去性能を強化し、更なる長寿命化を実現したキャビネット収納タイプのケ...
日本ドナルドソンのケミカルフィルタ4製品中の注目ランキング
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