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パナソニックインダストリーのプラズマエッチング装置

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FA 半導体関連システム ドライエッチャー APX300-パナソニックインダストリー株式会社

パナソニックインダストリー株式会社

FA 半導体関連システム ドライエッチャー APX300

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APX300は、6インチ以下のウエハーに対して多数枚同時処理が可能な全自動のバッチ処理ドライエッチング装置で、ø4“×7、ø6”×3枚のウエハの...


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