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ジャパンクリエイトのプラズマエッチング装置

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ジャパンクリエイト株式会社

2周波独立印加方式 ドライエッチング装置

化学業界用 電子・電気機器業界用

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100.0% 返答率

366.4時間 平均返答時間

■概要 最大φ12インチ基板を全自動で連続処理することが可能な量産装置です。 ガス種およびプラズマモードの切り替えによりエッチング、アッシング及びイオン...


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