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■MODEL 3100 SERIES ・対象流体 気体 N2、Air、H2、He、Ar、O2、CO2等 ・最大流量 気体 1SCCM～20SLM ・精度 ±1%F.S. ・微少流量に対応 (N2換算でF.S.1SCCMから)
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■MODEL 3760 SERIES ・対象流体 気体 N2、Air、H2、He、Ar、O2、CO2等 ・最大流量 気体 10SCCM～100SLM ・精度 ±1～1.5%F.S. ・幅広い流量レンジに対応 (N2換...
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■MODEL 3810DSⅡ SERIES ・対象流体 気体 N2、Air、H2、He、Ar、O2、CO2等 ・最大流量 気体 10SCCM～100SLM ・精度±2～3%F.S. ・表示器一体型で各種機能使用可...
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■MODEL 3810S SERIES ・対象流体 気体 N2、Air、H2、He、Ar、O2、CO2等 ・最大流量 気体 10SCCM～50SLM ・精度 ±3～5%F.S.
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■MODEL 5410 SERIES ・対象流体 気体 N2、Air、H2、He、Ar、O2、CO2等 ・最大流量 気体 10SCCM～20SLM ・精度 ±1%F.S. ・メタルシール
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マスフローコントローラ/メータ用瞬時流量表示器
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■MODEL EX-700R SERIES ・対象流体 気体 N2 (Air、H2、He、Ar、O2、CO2、CH4/C.F.切替) ・最大流量 気体 10SCCM～500SLM ・精度 ±1～1.5%F.S. ・表示器一体...
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マスフローコントローラ/メータは、メカニカルなフローメータやバルブに比較して、質量流量計測であるため温度や圧力の影響を受けづらく、また、流量を電気信...
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■MODEL HFM-200W/LS SERIES ・対象流体 気体 N2、Air、H2、He、Ar、O2、CO2等 ・最大流量 気体 1,500SLM～15,000SLM ・精度 ±3～5%F.S. ・大流量に対応 (N2換...
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■MODEL HFM-301 SERIES ・対象流体 気体 N2、Air、H2、He、Ar、O2、CO2等 ・最大流量 気体 100～1,000SLM ・精度 ±1%F.S. ・大流量に対応 (N2換算でF.S.1,000...
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■対象流体 気体：N₂、Air、H₂、He、Ar、O₂、CO₂等 ■最大流量 気体：10SCCM～100SLM ■精度 ±1～1.5%F.S. 幅広い流量レンジに対応 (N₂換算でF.S.10SCCMからF...
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■対象流体 気体：N₂、Air、H₂、He、Ar、O₂、CO₂等 ■最大流量 気体：1SCCM～20SLM ■精度 ±1%F.S. 微少流量に対応 (N₂換算でF.S.1SCCMから)
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■対象流体 気体：N₂、Air、H₂、He、Ar、O₂、CO₂等 ■最大流量 気体：10SCCM～5SLM ■精度 ・±1%S.P. (25～100%F.S.) ・±0.25%F.S. (～25%F.S.) ・メタルシ...
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■対象流体 気体 N₂、Air、H₂、He、Ar、O₂、CO₂等 ■最大流量 気体：5SCCM～10SLM ■精度 ・±1%F.S. ・コンパクト設計 ・全流量制御範囲応答1sec以内 ・ロー...
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■対象流体 気体：N₂ (Air、H₂、He、Ar、O₂、CO₂、CH₄/C.F.切替) ■最大流量 気体：10SCCM～500SLM ■精度 ・±1～1.5%F.S. ・表示器一体型で各種機能使用可能...
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■対象流体 気体：N₂、Air、H₂、He、Ar、O₂、CO₂等 ■最大流量 気体：10SCCM～100SLM ■精度 ・±1～1.5%F.S. ・幅広い流量レンジに対応 (N₂換算でF.S.10SCCMか...
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