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精度 %

0 - 0.1 0.1 - 0.2 0.2 - 0.25 0.25 - 0.35 0.35 - 1 1 - 1.5 1.5 - 3 3 - 5

使用圧力範囲 MPa

0 - 1 1 - 5

フルスケール流量 slm

0 - 1 1 - 10 10 - 50 50 - 100 100 - 1,000

最高使用圧力 MPa

0 - 100
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センシリオンのマスフローメーター

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