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株式会社エー・シー・イー
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100.0% 返答率
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■概要 超小型化を実現。本流量コントローラは、ガスが小型層流素子を流れるときに発生するガスの圧力差を測定し、温度・圧力補正を行い...
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■概要 本流量コントローラは、ガスが小型層流素子を流れるときに発生するガスの圧力差を測定し、温度・圧力補正を行い、質量流量を計測...