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タツモの定量供給装置3製品中の注目ランキング
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タツモ株式会社
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New MX2000は、CMP工程で使用する各種スラリーの希釈 混合および供給を行う装置です。研磨剤粒子の凝集を抑制する為、ポンプを使用しないユニークな供給方式...
タツモ株式会社
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iSIS1200Jは、2つのキャビネットそれぞれに混合部、供給部、タンクを搭載した装置です。冗長性によるダウンタイムの防止、メンテナンス時のバックアップ運転...
タツモ株式会社
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メタルCMP工程で使用される粉体状の酸化剤 (APS) に対応した装置です。オンサイトで粉体の溶解、水溶液の濃度調整、CMPへの 供給が行えます。 ■製品特徴 ・...
