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大塚電子の分光分析装置

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大塚電子株式会社

超高速分光干渉式厚み計

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ウェーハ等の研削研磨プロセスを非接触でウェーハや樹脂の超高速リアルタイム・高精度に測定します。 ■特長 ・非接触、非破壊で厚み測...




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