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THKプレシジョンの位置決めステージ

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16 点の製品

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THKプレシジョン株式会社

ピエゾステージ XYZ軸 歪みゲージ式汎用モデル

10人以上が見ています

内蔵変位センサとして「歪みゲージ式センサ」を採用しコストを抑えた汎用ピエゾステージです。 20nmの移動分解能とフィードバック制御により信頼性の高い位置...


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THKプレシジョン株式会社

ピエゾモータステージ 回転系 回転ステージ

10人以上が見ています

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数mm~数十mmのストロークを20~40nmの高い分解能で位置決め制御できる高精度ステージです。アクチュエータにPiezoMotor社のPiezoLEGS®アクチュエータを採用...


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THKプレシジョン株式会社

ピエゾモータステージ 回転系 ゴニオステージ

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数mm~数十mmのストロークを20~40nmの高い分解能で位置決め制御できる高精度ステージです。アクチュエータにPiezoMotor社のPiezoLEGS®アクチュエータを採用...


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ピエゾステージ XY軸 高耐久モデル

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1軸から3軸一体型まで揃えストロークも豊富なピエゾステージの基本シリーズ ■2つの機構で性能分類 高い共振周波数を備え高速応答性重視の「直接駆動機構」と...


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ピエゾステージ X軸 スタンダードモデル

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1軸から3軸一体型まで揃えストロークも豊富なピエゾステージの基本シリーズ ■2つの機構で性能分類 高い共振周波数を備え高速応答性重視の「直接駆動機構」と...


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ピエゾステージ X軸 歪みゲージ式汎用モデル

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内蔵変位センサとして「歪みゲージ式センサ」を採用しコストを抑えた汎用ピエゾステージです。 20nmの移動分解能とフィードバック制御により信頼性の高い位置...


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ピエゾステージ XY軸 スタンダードモデル

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1軸から3軸一体型まで揃えストロークも豊富なピエゾステージの基本シリーズ ■2つの機構で性能分類 高い共振周波数を備え高速応答性重視の「直接駆動機構」と...


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ピエゾステージ XY軸 歪みゲージ式汎用モデル

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内蔵変位センサとして「歪みゲージ式センサ」を採用しコストを抑えた汎用ピエゾステージです。 20nmの移動分解能とフィードバック制御により信頼性の高い位置...


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ピエゾステージ XYZ軸 スタンダードモデル

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ピエゾステージ X軸 高耐久モデル

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ピエゾステージ XYZ軸 高耐久モデル

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ピエゾステージ Z軸 高耐久モデル

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ピエゾステージ Z軸 スタンダードモデル

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1軸から3軸一体型まで揃えストロークも豊富なピエゾステージの基本シリーズ ■2つの機構で性能分類 高い共振周波数を備え高速応答性重視の「直接駆動機構」と...


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ピエゾステージ Z軸 歪みゲージ式汎用モデル

内蔵変位センサとして「歪みゲージ式センサ」を採用しコストを抑えた汎用ピエゾステージです。 20nmの移動分解能とフィードバック制御により信頼性の高い位置...


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ピエゾステージ 光学ミラーアライメント用

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光学ミラーの角度微調整用に設計したステージです。高速振動や高い位置再現性に優れており、レーザ光スキャニング、ミラー精密アライメントなどに最適です。 ...


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ピエゾステージ 超精密加工機用 2軸タイプ

精密切削におけるナノ、マイクロ加工を実現するステージです。 工具の切り込みやワーク (加工対象物) を高速、高精度に位置制御できます。 ■防塵防滴の対策 ...


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