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エンジニアリング・ラボのレジスト塗布装置

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株式会社エンジニアリング・ラボ

レジン・ペーストコーター WL

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■商品概要 レジン・ペーストコーターは、半導体業界向けに開発された全自動塗布装置です。 WLはツインエア式ディスペンサーを搭載し、ウェハ上にスパイラル...


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