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ピクリングのレジスト塗布装置

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スピンコータ-株式会社ピクリング

株式会社ピクリング

スピンコータ

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最新の閲覧: 10分前

■特徴 ・2インチ～6インチウェハ用レジスト塗布 ・膜厚0.8μm～1μm (参考値) ・スピン回転数50rpm～6,000rpm (任意設定) ・回転式ベーク炉50℃～200℃±1% ・2...


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