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株式会社ピクリング
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■特徴 ・2インチ～6インチウェハ用レジスト塗布 ・膜厚0.8μm～1μm (参考値) ・スピン回転数50rpm～6,000rpm (任意設定) ・回転式ベーク炉50℃～200℃±1% ・2...
