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タツモのレジスト塗布装置

2 点の製品がみつかりました

タツモ株式会社

塗布・現像装置 CSXシリーズ

40人以上が見ています

最新の閲覧: 5時間前

CSX2000シリーズは、装置構成に柔軟性と拡張性を持たせ、研究開発向けから量産ラインまで幅広い対応を実現したコータ/デベロ ッパです。特に厚膜プロセスに対...


タツモ株式会社

塗布・現像装置 SPRシリーズ

50人以上が見ています

SPR3000シリーズは、特に高速処理に特化したタツモフラッグシップコータ/デベロッパです。装置構成に柔軟性と拡張性を持たせ、ユニット単位で必要な数だけ選...


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