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株式会社ダイヘン
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■400kHz/500W~20kW、2MHz/500W~20kW、4MHz/500W~20kW パルス出力機能付き高周波数 ■13.56MHz/3kW~30kW 小型・高効率高周波数電源 ■特徴 ・パルス機能を搭載...
7種類の品番
株式会社ダイヘン
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2レベルパルス出力機能付高周波電源 ■特徴 ・3D NANDやFinFETといった最先端プロセス向けにも対応 ・高い選択性や均一性が求められるプロセス開発に貢献 ・5...
3種類の品番
