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項目別
使用用途
#プラズマ生成
#半導体製造
冷却方式
空冷型
水冷型
定格出力 W
0 - 500
500 - 1,000
1,000 - 3,000
3,000 - 5,000
5,000 - 10,000
10,000 - 20,000
20,000 - 30,000
冷却方式
空冷
水冷
出力安定度 %
1
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10 点の製品
株式会社ダイヘン
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