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量産工程用 全自動露光装置 ■特徴 ・高い汎用性 (〇型 □型 試料対応) ・信頼性の高い球面軸受 平行機構 ・シンプル構造で低価格を実現
株式会社三明
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上下両面に高位置精度パターニング
