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使用用途

#基板製造

#微細加工

原理

光源型

紫外線型

特徴

高解像度型

高精度型

露光解像度 μm

1 - 5

アライメント精度 µm

1 - 2

2 - 3

フィジックステクノロジーの露光装置

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1 点の製品

株式会社フィジックステクノロジー

光学素子設計/加工装置 マスクレス露光装置 SMART PRINT UV スタンダード

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プロジェクタ技術を活用したマスクレス露光装置です。デスクトップ型ですので、設置場所を選ばず簡単にご使用いただけます。 ■主な特徴...




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