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露光解像度 μm

1 - 5

露光モード

ソフトコンタクト

露光光源

超高圧水銀ランプ

アライメント精度 µm

2 - 3

ユニオン光学の露光装置

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1 点の製品

ユニオン光学株式会社

卓上型 マスクアライナ EMA-400

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■概要 本製品は、省スペースで手軽に扱え、しかも高性能・低価格、大学・企業研究室用として最適なマスクアライナです.本製品の特徴は、このクラスとして初め...


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