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株式会社東京インスツルメンツ
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■アクティブ除振台 ・SEM、TEM、SPM、AFM、半導体製造装置などに後付可能 ・分解能を最大限に引き出せる革新的アクティブ除振台 ■アクティブ除振台 製品概要...
株式会社東京インスツルメンツ
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■パッシブ除振台 製品概要 本装置は、K&S Advanced Systems社が独自技術開発したダンパーを搭載した除振台です。サイズは小型で軽量、高い除振力をもち、エア...