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ハイソルの自動研磨機

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5 点の製品

ハイソル株式会社

DL1/DP1シリーズ 自動ポリッシング装置DP1

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自動ポリッシング装置は主としてサファイヤ、炭化シリコン及び窒化ガリウム (12″/300mmΦまで) 等の硬い材料をエピタキシャル品質の表面に加工するための高速...


ハイソル株式会社

ラッピング・ポリッシング装置 PM6/LP70シリーズ 卓上型精密研磨装置 LP70

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PM6/LP70は、ラッピング (粗研磨) とポリッシングを1台で行うことが出来る精密研磨装置です。耐薬品モデルを使用することにより、CMP (ケミカルメカニカルポ...


ハイソル株式会社

自動CMP装置 Tribo/Orbisシリーズ

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■特徴 ・COF (摩擦係数) やパッド表面温度、研磨液の温度、装置内の室温などをモニターしており、これらのパラメーターで上限値を設定出来、例えばパッドの温...

2種類の品番

Orbis-自動CMP装置 Tribo/Orbisシリーズ
Tribo-自動CMP装置 Tribo/Orbisシリーズ

ハイソル株式会社

ラッピング・ポリッシング装置 PM6/LP70シリーズ 卓上型精密研磨装置 PM6

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PM6/LP70は、ラッピング (粗研磨) とポリッシングを1台で行うことが出来る精密研磨装置です。耐薬品モデルを使用することにより、CMP (ケミカルメカニカルポ...


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