タツモの自動洗浄機
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6 点の製品がみつかりました
タツモ株式会社
リン酸プロセス装置 リン酸再生装置 PSYRION
20人以上が見ています
最新の閲覧: 15時間前
窒化膜エッチングに用いられる熱リン酸は、プロセス処理により生成される珪素の濃度が上昇するため、定常的に新液への交換が必要になります。この珪素を弊社...
タツモ株式会社
リン酸プロセス装置 珪素濃度調整装置
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熱リン酸プロセスでは、処理槽内の薬液交換を行った直後には珪素濃度が低過ぎるため、ダミー処理を行う必要があり、生産性が低下してしまうという問題が発生...
タツモ株式会社
リン酸プロセス装置 リン酸高温循環装置 NISON ® 1800
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NISON®1800は、熱リン酸による窒化膜エッチングに必要不可欠な装置として長年に渡り半導体業界で広く採用されてきました。その機能は、多くのユーザーより高...
タツモ株式会社
半導体製造装置 洗浄装置 枚葉式エッチング・ 洗浄システム CENOTE ®
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最新の閲覧: 17時間前
枚葉式洗浄システムCENOTE ®は、マルチカップ方式を採用した多機能枚葉式洗浄装置です。クリーンな液体をウェハ表面に連続供給すると同時に、薬液の種類、混...
タツモ株式会社
半導体製造装置 洗浄装置 リフトオフシステム VAP200TM/VAP300TM
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バッチ浸漬式洗浄モジュールと枚葉式洗浄モジュールを複合させたユニークな装置構成と なっており、フォトレジストやフィルムの剥離処理に適した洗浄装置です...
タツモ株式会社
半導体製造装置 洗浄装置 バッチ式浸漬洗浄・エッチングシステム TIGRISR
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バッチ式洗浄装置TIGRIS®200及びTIGRIS®300は、200mm/300mm対応型の高機能浸漬洗浄エッチングシステムで、業界標準仕様に所有技術を付加しました。各種モニタ...
