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ジャパンクリエイト株式会社
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■特徴 ・全自動でCNT合成が可能 ・基板プラズマクリーニングシステム搭載 ・優れた基板温度分布およびガスフロー方式を実現 ・優れた膜厚分布および再現性を...
