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ハイソル株式会社
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DL1自動ラッピング装置は200mm/8″φまでのサンプルを高い形状精度で加工することができます。またドライブヘッドの研磨機能により、サンプルを高速で処理でき...
ハイソル株式会社
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自動ポリッシング装置は主としてサファイヤ、炭化シリコン及び窒化ガリウム (12″/300mmΦまで) 等の硬い材料をエピタキシャル品質の表面に加工するための高速...
ハイソル株式会社
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PM6/LP70は、ラッピング (粗研磨) とポリッシングを1台で行うことが出来る精密研磨装置です。耐薬品モデルを使用することにより、CMP (ケミカルメカニカルポ...
ハイソル株式会社
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■特徴 ・COF (摩擦係数) やパッド表面温度、研磨液の温度、装置内の室温などをモニターしており、これらのパラメーターで上限値を設定出来、例えばパッドの温...
2種類の品番
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PM6/LP70は、ラッピング (粗研磨) とポリッシングを1台で行うことが出来る精密研磨装置です。耐薬品モデルを使用することにより、CMP (ケミカルメカニカルポ...
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