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9 点の製品
エア・ウォーター・メカトロニクス株式会社
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「パイオクリン」は各種の有害成分を化学的に吸着させ、排ガスから多種の有害物質を完全に取り除きます。また、ドライタイプの除害剤の...
エア・ウォーター・メカトロニクス株式会社
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本装置は主にGaN製造プロセスの排ガス処理を目的とした除害装置です。常温乾式除害と触媒分解式除害を効率よく組み合わせ、メンテナンス...
エア・ウォーター・メカトロニクス株式会社
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■特長 ・高、強誘導電体製造プロセスの排ガス処理に最適 ・揮発性有機物質 (THF、酢酸ブチルなど) とPb、Zr、Tiなどの有機金属錯体を高...
エア・ウォーター・メカトロニクス株式会社
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■特長 ・シンプルなフロー設計と、極めて高い処理能力を誇るパイオクリンカートリッジの組合せにより、経済的かつ、安全に有毒ガスを除...
エア・ウォーター・メカトロニクス株式会社
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本装置は、エッチングプロセス用の湿式除害装置です。Cl2、HBr、BCl3、HCl、HF、SiF4、etc対象ガスを、従来の湿式除害では出来なかったT...
エア・ウォーター・メカトロニクス株式会社
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本装置は、CF4、C2F6、C5F8等のPFCを始め、SF6およびHFCの完全分解が可能です。また、ヒーター加熱方式によりプロパン等の燃焼燃料を必...
エア・ウォーター・メカトロニクス株式会社
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■特長 ・NF3を許容濃度 (10 ppm) 以下に分解 ・除害装置出口のガスには、CO2、NOx、HFが含まれない ・270℃からの低温運転による除害が可...
エア・ウォーター・メカトロニクス株式会社
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毒性ガスボンベからの万一の噴出や半導体製造設備等 (配管、継手、バルブ等) から毒性ガスが漏洩した場合に、付近の大気とともに吸引し...
エア・ウォーター・メカトロニクス株式会社
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本装置は半導体製造装置により排出されるSiH4等の水素化合物、C2F6、SF6等のフッ素化合物等の排ガスを燃焼バーナーの熱排ガスを利用して...
エア・ウォーター・メカトロニクスの排ガス処理装置9製品中の注目ランキング
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