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ハイソル株式会社
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本装置はHMDS (ヘキサメチルジシラザン) の蒸着成膜 (ベーパープライミング) に特化しており、装置の各種パラメータはあらかじめHMDS専用に設定されています...
ハイソル株式会社
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本装置はHMDS (ヘキサメチルジシラザン) の蒸着成膜 (ベーパープライミング) に特化しており、装置の各種パラメータはあらかじめHMDS専用に設定されています...
ハイソル株式会社
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プラズマ洗浄~ワーク脱水 (デハイドレーション) ~シランCVD~ガス排出までチャンバー内で自動一括処理できる、R&D向けの卓上型シランCVD装置です。無機物と...
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