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オプトランの成膜装置

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16 点の製品

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株式会社オプトラン

イオンアシスト蒸着装置 OTFC-900CBI/DBI

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OTFCシリーズはエッジフィルタ、帯域フィルタ、ARコーティング等のシフトレス光学フィルタを安定生産するためのイオンビームアシスト蒸...


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株式会社オプトラン

イオンアシスト蒸着装置 OTFC-1100CBI/DBI

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OTFCシリーズはエッジフィルタ、帯域フィルタ、ARコーティング等のシフトレス光学フィルタを安定生産するためのイオンビームアシスト蒸...


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株式会社オプトラン

イオンアシスト蒸着装置 OTFC-1300CBI/DBI

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OTFCシリーズはエッジフィルタ、帯域フィルタ、ARコーティング等のシフトレス光学フィルタを安定生産するためのイオンビームアシスト蒸...


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株式会社オプトラン

イオンアシスト蒸着装置 OTFC-1550CBI/DBI

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OTFCシリーズはエッジフィルタ、帯域フィルタ、ARコーティング等のシフトレス光学フィルタを安定生産するためのイオンビームアシスト蒸...


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株式会社オプトラン

イオンアシスト蒸着装置 OTFC-1800CBI/DBI

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OTFCシリーズはエッジフィルタ、帯域フィルタ、ARコーティング等のシフトレス光学フィルタを安定生産するためのイオンビームアシスト蒸...


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株式会社オプトラン

超多層薄膜形成装置 SPOC-1100

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SPOC-1100は、5G光通信向けDWDM/CWDMフィルタに適応した光学薄膜形成装置です。高精度での膜厚制御により様々な超多層光学フィルタを生...


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イオンアシスト蒸着装置 Gener-1300

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本装置は反射防止膜を大量生産するために設計製作された光学薄膜形成装置です。 ■特長 ・ドーム回転は磁気シール駆動による中心回転方...


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株式会社オプトラン

イオンアシスト蒸着装置 Gener-2350

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本装置は防汚膜 (AS) 、反射防止膜 (AR) だけでなく、両者を組み合せた成膜 (AR+AS) に特化した大型光学薄膜形成装置です。 ■特長 ・ド...


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株式会社オプトラン

イオンアシスト蒸着装置 Gener-2750

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Gener-2750は加飾膜、反射防止膜 (AR) 、防汚膜 (AS) を成膜する大型IAD装置です。 ■特長 ・ドーム径φ2,640 ・高いスループット・大量...


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リアクティブプラズマ蒸着装置 RPD-1000 (ITO/AlN)

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RPDシリーズは、高性能なLED 機能性膜 (ITO/AlN) を低コストにて量産することができる反応性プラズマ成膜装置です。 ■特長 ・反応性プ...


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株式会社オプトラン

メタルモードスパッタ装置 NSC-15

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NSC-15はメタル (金属) モード・スパッタリング法と高反応性プラズマ源を組み合せた量産用光学薄膜スパッタ装置です。高スループットを...


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メタルモードスパッタ装置 NSC-2350

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NSC-2350は大型基板に対応した光学薄膜用メタルモード・スパッタ装置です。モバイル端末や車載パネルのAR+AS膜の生産に適しています。 ...


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株式会社オプトラン

メタルモードスパッタ装置 OWLS-1800

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OWLS-1800は半導体光学に向け、新たに開発した水平型メタルモード・スパッタ成膜装置です。最大12インチのウェハーに対応し、両面同時成...


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株式会社オプトラン

原子層堆積装置 ALDER-800P

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ALDER-800Pはプラスチック基板への光学多層成膜を可能としたプラズマALD装置です。 ■特長 ・レンズ全周や3D構造物へのコンフォーマル成...


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原子層堆積装置 ALDER-800T

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ALDER-800T (A800T) は大容量ロードロック機構を有し、高いスループット、高い均一性、優れた再現性を実現するサーマルモードALD装置で...


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原子層堆積装置 ALDER-1000

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ALDER-1000は従来の成膜手法では成しえなかった光学特性を実現します。立体形状への成膜が可能で、カメラレンズへのAR膜はゴースト・フ...




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