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株式会社MPS
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■概要 実験用のスパッタ装置です。4インチの円形マグネトロンカソードを最大4個搭載可能です。お客様の要求性能、ご予算に合わせた最適な装置をご提案いたし...
株式会社MPS
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■概要 抵抗加熱式の蒸着装置です。小規模の光学膜生産用としてお使いいただいています。
株式会社MPS
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■概要 実験用の熱フィラメントCVD装置です。貴社のご要望に応じて装置を設計します。
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