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コメットの成膜装置

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2 点の製品

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株式会社コメット

6元コンビナトリアル・マグネトロンスパッタ装置 CMS-6420

使いやすさが特長のコンビナトリアル・スパッタ成膜装置です。旧製品と比べ、2インチ・カソードを6基装備して、あらゆる薄膜材料の合成...


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株式会社コメット

3元コンビナトリアル・マグネトロンスパッタ装置 CMS-3200

6元ののコンビナトリアル・スパッタ成膜装置のプロセス性能をそのままに、3元コンビ装置としてコンパクトにまとめました。6元装置 CMS-6...




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