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到達圧力 Pa

0 - 0.01 0.01 - 1 1 - 10

基板サイズ mm

25 - 50 50 - 100

設置面積 m²

1 - 5

北野精機の成膜装置

14 点の製品がみつかりました

14 点の製品

北野精機株式会社

薄膜作製装置 4元マグネトロンスパッタリング装置

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最新の閲覧: 16時間前

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本装置はDCマグネトロンスパッタ源を用いたブレーナー型マグネトロンスパッタリング装置です。弊社独自のロードロック室を設けた、超高真空対応型です。成膜...


北野精機株式会社

有機EL試作用デバイス製造装置 有機材料開発用成膜装置 KVD-OLED Evo.1

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最新の閲覧: 7時間前

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■用途 ・有機EL材料開発 ・高分子材料開発 ・燐光材料開発 ・有機薄膜太陽電池開発 ・有機電子デバイス開発など ■特徴 ・搬送機構にてマスク及び試料搬送が...


北野精機株式会社

有機EL試作用デバイス製造装置 有機材料開発用成膜装置 KVD-OLED Evo.2

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最新の閲覧: 3時間前

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■用途 ・有機EL材料開発 ・高分子材料開発 ・燐光材料開発 ・有機薄膜太陽電池開発 ・有機電子デバイス開発など ■特徴 ・有機材料と金属材料が同じ部屋で成...


北野精機株式会社

有機EL試作用デバイス製造装置 有機材料開発用成膜装置 KVD-OLED Evo.3

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■用途 ・有機EL材料開発 ・高分子材料開発 ・燐光材料開発 ・有機薄膜太陽電池開発 ・有機電子デバイス開発など ■特徴 ・有機材料と金属材料とのコンタミ防...


北野精機株式会社

有機EL試作用デバイス製造装置 有機材料開発用成膜装置 KVD-OLED Evo.Cluster

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■用途 ・有機EL材料開発 ・高分子材料開発 ・燐光材料開発 ・有機薄膜太陽電池開発 ・有機電子デバイス開発など ■特徴 ・3軸ロボット機構にて、マスク及び試...


北野精機株式会社

有機EL試作用デバイス製造装置 有機EL成膜・評価装置Ⅰ OED R&D SystemⅠ

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■特徴 ・小スペース、コンパクト設計 ・蒸着セル最大5本取付可能 ・基盤サイズ1~3インチと幅広く選択可能 ・コンタミを防ぐ2重シールド構造 ・基盤加熱ヒタ...


北野精機株式会社

有機EL試作用デバイス製造装置 有機EL成膜・評価装置Ⅱ OED R&D SystemⅡ

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■特徴 ・小スペース、コンパクト設計 ・蒸着セル最大5本取付可能 ・基盤サイズ1~3インチと幅広く選択可能 ・コンタミを防ぐ2重シールド構造 ・基盤加熱ヒタ...


北野精機株式会社

有機EL試作用デバイス製造装置 UHV対応型有機EL成膜・評価装置Ⅲ OED R&D SystemⅢ

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■蒸着室/特徴 ・超高真空蒸着 ・小スペース、コンパクト設計 ・蒸着セル最大9本取付可能 ・基盤サイズ1~3インチと幅広く選択が可能 ・コンタミを防ぐ2重シー...


北野精機株式会社

有機EL試作用デバイス製造装置 有機薄膜簡易蒸着装置 OTFS R&D System

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■特徴 ・小スペース、コンパクト設計 ・蒸着セル最大5本取付可能 ・基盤サイズ1~3インチと幅広く選択可能 ・コンタミを防ぐ2重シールド構造 ・基盤加熱ヒタ...


北野精機株式会社

蒸着用成膜コントローラー TMC-13

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■概要 TMC-13は、標準6MHz水晶振動子に対応した膜厚モニターとなります。操作は、液晶タッチパネルから可能であり、シンプルでコンパクトなデザインです。研...


北野精機株式会社

薄膜作製装置 PVD装置 ハイブリッド蒸着装置

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■特徴 本装置はPVD手法からなるマグネトロンスパッタ源4個とEB蒸着源2個とMBE用K-CELL装備したハイブリッド型蒸着装置です。高融点材料や酸化物など多種多様...


北野精機株式会社

薄膜作製装置 マグネトロン・スパッタリング蒸着装置

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■特徴 本装置はDCマグネトロンスパッタ源を用いたブレーナー型マグネトロンスパッタリング超高真空薄膜作製装置です。均一な成膜が可能なサンプルホルダー回...


北野精機株式会社

薄膜作製装置 電子ビーム蒸着装置 大型EB蒸着装置

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■特徴 本装置は電子ビーム (EB) を用いた高融点金属蒸着装置です。本装置には高い材料使用効率と高い膜特性を実現するために自転・公転型プラネタリーを使用...


北野精機株式会社

有機EL試作用デバイス製造装置 有機材料高速成膜装置

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■特徴 有機EL、有機薄膜太陽電池、有機トランジスタなどの材料開発用実験システムから小規模生産用クラスターシステム、量産対応のインラインシステムといっ...


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