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#半導体評価
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制御方式
デジタル制御型
プログラム制御型
使用環境
据置型
測定機能
温湿度記録型
温度範囲 ℃
-75 - -40
-40 - -30
-30 - -20
-20 - -10
-10 - 80
80 - 100
100 - 120
120 - 150
150 - 180
湿度範囲 %RH
0 - 20
20 - 40
40 - 60
60 - 80
80 - 100
温度変化速度 ℃/分
0 - 1
1 - 2
2 - 3
温度極値到達時間 分
30 - 60
60 - 70
70 - 80
80 - 100
100 - 110
110 - 120
空間温度偏差 ℃
1 - 3
温湿度勾配 ℃/RH
2 - 3
空間温湿度偏差 ℃/RH
2 - 3
試験室床面積 ㎡
3 - 6
6 - 9
9 - 16
16 - 17
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