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オーエステックの加熱装置

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株式会社オーエステック

高純度MOCVD用AlNサセプター

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■特徴 シリコンにマッチングした熱膨張係数を有し、熱伝導・熱放射率が大きく、均熱性が高いサセプターです。材質は、高純度品FAN-090 (99.9%) であり、 耐プ...


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