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attocube (アトキューブ) 社のレーザー干渉式変位センサは、ターゲットの直線運動を測定します。ファブリーペロー干渉計に基づいた変位...
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■レーザー干渉を利用した厚さ測定装置 ・厚膜 (1~500μm) 測定用 ・極小スポットサイズ ・小型・高速・高精度 半導体業界では現在、バ...
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