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アイ・アール・システムのレーザー干渉計

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株式会社アイ・アール・システム

Fizeauタイプ汎用レーザ干渉計

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精密な波面の計測に、経時変化も一緒に取り込んでしまうピエゾ式参照面スキャンではなく、複数位相を同時に計測することで経時的スキャ...




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