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#変位計測

#精密加工

位置決め測定分解能 nm

0 - 1

1 - 2

2 - 3

位置決め測定可能距離 m

0 - 50

50 - 100

100 - 200

位置決め計測精度 ppm

0 - 0.2

0.2 - 0.5

最大移動速度 m/s

10 - 15

15 - 20

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