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MSAファクトリーのポーラスチャック

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5 点の製品

株式会社MSAファクトリー

ウエハ/フィルム加熱 フィルムホットチャック/PA20-FCシリーズ

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■主な用途 フィルム・薄いガラス基板などの加熱工程に、最高温度200℃まで。 ■多孔質セラミックによる吸着機能/ポーラスチャック方式 ...

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