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ピー・ジェイのベントフィルタ

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6 点の製品

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株式会社ピー・ジェイ

ベント用フィルター

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半導体製造装置に使用される、ロードロック室 (Load lock chamber) や搬送チャンバー (Transfer chamber) 等において、真空破壊を行う際...


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株式会社ピー・ジェイ

インラインセラミックガスフィルター

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■高濾過精度 サブミクロンLS|製造プロセスにおいては、原料ガスを高純度のままユースポイントまで供給することが不可欠です。そのため...


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株式会社ピー・ジェイ

標準コンダクタンスエレメント 標準校正リークエレメント/極微小ガス定流量エレメント

高い気密性が求められる部品および製品、またそれらを製造・検査する装置のリーク (漏れ) 検査は必須の工程となります。最も一般的な検...


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株式会社ピー・ジェイ

微少流量超小型セラミックガスフィルター

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■超小型・軽量 SPCシリーズは超小型 (Φ21✕84mm) 、軽量 (90g) に設計されております。そのため、取り付けスペースの狭いシリンダーキャ...


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株式会社ピー・ジェイ

高耐圧用PTFEインラインガスフィルター

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■高耐圧設計 ハウジング設計圧力が20.68MPaとなっております。 ■高い濾過性能 濾過膜はPTFE製2層膜で経年や振動などでの伸びが殆どなく...


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株式会社ピー・ジェイ

低圧力損失インラインセラミックガスフィルター

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■低圧力損失 窒素ガス10ℓ/minをフィルターIN側圧力0.1MPaで流した時のOUT側圧力損失⊿Pは、0.01MPaと極めて低い圧力を実現しました。 ■...


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