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リモートプラズマ装置-株式会社セルバック

株式会社セルバック

リモートプラズマ装置

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独自のICPコイル設計のSLRP-01は、ガス分解に必要な電磁波をロスを少なく分解室に送り込み、高効率で高密度のプラズマを生成する事が出来ます。 ■保有真空チ...


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