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アリオス株式会社
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■概要 アリオスではマイクロ波を用いたプラズマ実験装置の製作を承っております。プラズマ源やマイクロ波電源を含め、全て自社設計する当社だからこそ可能な...
アリオス株式会社
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■概要 本装置は実験用RFプラズマ装置で、RFプラズマ源、基板加熱機構、ガス供給系、ロードロック室より構成しており、各種原料ガスをプラズマ化し、基板処理...
