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電子技研のプラズマ処理装置

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株式会社電子技研

プラズマ製品 バレルタイプ 減圧プラズマ処理装置 PB Series

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■概要 低価格バッチ処理プラズマ処理装置です。等方性プラズマのため処理サンプルを全方向から処理可能です。50枚までの半導体ウエハ上...




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