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片桐エンジニアリングのプラズマ処理装置

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株式会社片桐エンジニアリング

電子ビーム励起プラズマを用いた高密度プラズマ処理装置 EBEP処理装置

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◼︎概要 EBEPとは電子ビーム励起プラズマ (Electron Beam Excited Plasma) の頭文字を並べたものです。本装置は (独) 理化学研究所の特許...


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