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使用用途
#微細加工
#表面処理
#半導体製造
発振原理
ファイバレーザー
パルス幅
ナノ秒レーザー
波長領域
紫外域レーザー
波長 nm
200 - 500
パルス幅 ns
0 - 1
1 - 10
繰り返し率 kHz
1 - 10
10 - 100
100 - 500
500 - 1,000
1,000 - 10,000
パルスエネルギー μJ
10 - 50
50 - 100
平均出力 W
0 - 10
10 - 20
20 - 30
30 - 50
ピーク出力 kW
10 - 30
30 - 100
ビーム品質 M²
1.2 - 1.4
1.4 - 1.6
1.6 - 1.8
1.8 - 2
供給電圧 V
10 - 100
100 - 250
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