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圧力設定範囲 MPa

0 - 0.01 0.01 - 0.05 0.05 - 0.1 0.1 - 0.2 0.2 - 0.4 0.4 - 0.7 0.7 - 1

最大流量 L/min

300 - 400

繰り返し再現性 %F.S.

0.1 - 0.2 0.2 - 0.4 0.4 - 0.6

使用温度範囲 ℃

0 - 5 5 - 70

ステップ応答 sec

0 - 0.2 0.2 - 0.5 1 - 2
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