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タツモの真空発生器

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クリーン搬送システム 真空ロボット 高真空対応 高真空ロボット MTPシリーズ-タツモ株式会社

タツモ株式会社

クリーン搬送システム 真空ロボット 高真空対応 高真空ロボット MTPシリーズ

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低振動・低騒音を実現しており、次世代の半導体製造装置に対応可能です。 ■製品特徵 ・全軸ACサーボモーターの採用、独自の構造により、10^-6Paの真空環境に...


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