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ファーストゲート株式会社
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■ウェハ表面検査装置 ・鏡面基板 (シリコンウェハ等) の表面異物を高速にスキャン。 ・小型基板 (2インチ、3インチ) から8インチウェハ...
ファーストゲート株式会社
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■透ウェハ表面検査装置 ・鏡面基板 (シリコンウェハ等) の表面異物を高速にスキャン。 ・小型基板 (2インチ、3インチ) から8インチウェ...
ファーストゲート株式会社
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■小型・高機能ウェハ表面検査装置 ・表面パーティクルスキャナ。新開発の高機能・省スペースタイプ。 ・小型省スペースながら最小検出粒...
ファーストゲート株式会社
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■SiC/GaN関連ウェハ表面検査装置 ・SiC表面パーティクルスキャナ デュアルヘッド搭載 ・SiC潜傷の未検出を防ぐ 新開発SiC表面パーティ...
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