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6 点の製品
キヤノンアネルバ株式会社
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3極型イオンポンプ (ノーブルポンプ) とチタンサブリメーションポンプを組み込んだ完全オイルフリーの真空ポンプです。 コンビネーションポンプでは、チタン...
キヤノンアネルバ株式会社
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イオンポンプ/ノーブルポンプは磁場中で冷陰極放電を起こすことで排気を行う完全オイルフリーの超高真空用ポンプです。 イオンポンプ・ノーブルポンプは、磁...
キヤノンアネルバ株式会社
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世界最小サイズ、最小水準の省エネルギーを実現したライトプロセス用ルーツ型のドライポンプです。 特長 ■小型・軽量化 フットプリント230mm×450mm (0.1m2) ...
キヤノンアネルバ株式会社
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多段ドラッグステージを備えマルチステージで高圧縮比を実現したハイブリッドベアリング (マグネットとセラミック) 構造のターボ分子ポンプです。 nEXTター...
キヤノンアネルバ株式会社
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独自のベアリングシールド構造による完全オイルフリーの実現で、水蒸気によるベアリンググリース劣化防止、メンテナンスサイクルを長期化します。 エドワー...
キヤノンアネルバ株式会社
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ターボ分子ポンプと背圧ポンプを組み合わせた排気ユニットで、ボタン一つで始動から停止までを制御できます。 T-Station85は、nEXT85Hターボ分子ポンプとド...
キヤノンアネルバのドライポンプ6製品中の注目ランキング
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