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荏原冷熱システム株式会社
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■概要 搬入性優位のモジュラッチが新型制御盤搭載で更に機能をアップいたしました。 ■高効率化 冷媒液過冷却システム、低過熱度運転採用等により性能向上 ■...
荏原冷熱システム株式会社
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■概要 自然冷媒 (CO2) を採用した半導体製造装置向けチラーです。超小型キャンドポンプ内蔵・荏原のインバータ制御技術により省スペース・省エネ化を図れます...
