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株式会社オーエステック
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本装置は両側測定台あり、一側はウエハ―の notch を測定、反対側にインゴットとウエハ―の端面及び基準エッジを測定。
株式会社オーエステック
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■装置性能 ・装置自身測定精度は ±30″。スライス機の公差は零の時に、スライス後のウエハ―測定角度100% は ±0.05°以内。 ・自動に結晶角度を測定、自動に計算...