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項目別
膜厚範囲 nm
0 - 10
10 - 100
100 - 500
500 - 1,000
1,000 - 2,000
入射角度 °
40 - 60
60 - 80
80 - 100
光源
キセノンランプ
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大塚電子株式会社
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高精度な薄膜解析が可能な分光エリプソメトリーに加え、測定角度の自動可変機構を実装させることにより、あらゆる種類の薄膜にも対応し...