オックスフォード・インストゥルメンツのALD装置
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オックスフォード・インストゥルメンツ株式会社
高速なリモートプラズマALD装置 AtomfabALD原子堆積システム
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Atomfabにより、GaNパワー/RFデバイス向けの高速、低ダメージ、低所有コスト製造に対応したプラズマALDプロセスが実現します。Atomfabは、市販されている中で...
オックスフォード・インストゥルメンツ株式会社
プリカーサー・プロセスガス・ハードウェア構成に高い柔軟性 FlexAL ALD原子層堆積システム
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FlexAL ALD (原子層堆積) システムは、最適化された高品質のプラズマALDおよび熱ALDプロセスを幅広く提供し、一つのプロセスチャンバーを用いたプリカーサー...
